Хексафлуороетан

Хексафлуороетан је безбојни, запаљиви гас који је нерастворљив у води, али растворљив у етанолу. Његова тачка кључања је -78.2°Ц, тачка топљења је -100.6°Ц, а критична температура је 19.7°Ц. Хексафлуороетан се генерално користи за гас за нагризање плазме у индустрији микроелектронике, као и за чишћење површине уређаја, производњу оптичких влакана и хлађење на ниским температурама.